Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А.
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также для научных работников и инженеров.
카테고리:
년:
1995
출판사:
Изд-во МФТИ, Наука. Физматлит
언어:
russian
페이지:
305
ISBN 10:
5741700063
ISBN 13:
9785741700068
파일:
DJVU, 6.81 MB
IPFS:
,
russian, 1995
Litres
책방을 추가하시렵니까? 저희에게 support@z-lib.do로 연락하십시오
파일을 변환하실 수 있습니다 
더 많은 검색 결과
기타 혜택 
